格罗方德成都项目加快建设 打造世界级智能工厂

中新网成都4月11日(刘彦君 秦菡)11日，记者从成都高新区获悉，位于成都高新区西部园区的格罗方德晶圆代工厂已完成100%土石方工程，50%以上桩基工程，将于明年3月前完成项目建设。

“Fab11”建设方成都建工集团的项目负责人袁明介绍，“Fab11”项目将在12个月内完成建设，相比常规电子厂房缩短6个月设计、建设周期，“到了建设高峰期，预计会有六七千人同时在现场施工”。

图说：格罗方德Fab11项目施工现场。成都高新区供图

据悉，这家代号为“Fab11”的晶圆代工厂，是格罗方德在全球的第11家晶圆代工厂，也是中国西南地区首条12英寸晶圆生产线，建成后将成为世界上标准最高、体量最大的晶圆代工厂之一。项目一期建设主流CMOS工艺12英寸晶圆生产线，二期建设格罗方德最新的22FDX?22nmFD-SOI工艺12英寸晶圆生产线，总产量将达到每月8.5万片晶圆片。

“我们不仅要为格罗方德生产线建设一个生产空间，更要建设一个完整的生产系统。就好像一个人，除了躯干之外还要有血管、神经系统等。”成都建工集团项目经营经理王霞表示，“Fab11”成都工厂有大量常规工业厂房未涉及的制程工艺和标准考量，包括离子注入、光刻胶、封装、处理器等17个工艺环节。

与常规的厂房项目相比，该项目最大的难点就在于复杂的生产系统，项目采用世界一流的自动化技术，建设自动化物料运送系统、厂务管理系统、数据分析系统等，打造智能电子厂房，实现全自动化的晶圆制造。

晶圆生产必须在洁净环境下进行。据王霞介绍，脑外科、心脏外科用的手术室能够达到100级，晶圆厂房则要保证6.5万平方米的空间都保持100的洁净度，局部房间达到1级标准，即每立方英尺的空气中相当于1/160根头发丝粗细的微尘数量不超过1个。

据了解，格罗方德是全球第二大晶圆代工厂，今年2月格罗方德12英寸晶圆成都制造基地项目落户成都高新区。成都高新区相关负责人表示，格罗方德成都项目契合《国家集成电路产业发展推进纲要》，填补了中国西南地区12英寸先进工艺晶圆生产项目的空白，成都高新区将不遗余力地推进“Fab11”建设，助推成都打造全球知名的集成电路产业基地。(完)